电真空器件要求零件和部件表面洁净度高、没有油污。研究在制造真空电子器件工艺过程中油污对电镀、钎焊和衰减材料涂覆的影响。提出采用超声加去油溶液的方式去除制管过程中的油污，确定了电真空器件的清洗工艺，保证其清洁性。降低器件表面的出气率，保证阴极发射水平和电子枪的耐压强度，提高器件的可靠性和使用寿命。
油污对制造电真空器件的影响
(1)制造真空电子器件的工艺过程中，为了提高金属零件之间的可焊性及管外零件的防腐性，对部分管内、外零件需要进行电镀处理，而电镀工艺过程中，零件表面的油污必须去除干净，否则对镀层会有影响，可使其起泡、发花等。
(2)在使用钎焊炉、真空炉、氢气炉、烘排炉，要求零部件表面干净、没有油污。若零部件表面有油污会污染炉内环境，使真空度下降。零部件表面有油污会吸附气体，在整管完成后，随着真空器件的存储放置时间，油污吸附的气体会慢慢释放，使整管内真空度下降。超高真空系统中，做好材料表面的清洁处理，可以使其放气率降低几个数量级。不锈钢在空气中暴露，出气体率为2.7×10-1Pa·L/(s·m2)，而经过除油后抽4 h，可降低到1.3×10-3 Pa·L/(s·m2)，经过清洗后，在250 ℃下烘烤15 h，出气率降到1.3×10-6 Pa·L/(s·m2)。
(3)电真空焊料具有真空气密性好、耐热冲击性强、封接强度高。电真空器件的钎焊可焊接不同种类的金属和合金零件，甚至能将金属与陶瓷连接起来，把微小的零件连接成大而复杂的部件，同时可以保证零件的光洁度和精密尺寸。
焊料的质量直接影响电真空器件焊缝及内部质量。电真空器件焊接后，经过氦质谱仪检漏，漏气速率要求达5×10-9 Pa·m3/s以下。宁波市仪表阀门厂（www.nbybfm.cn）认为如果电真空器件使用的焊料表面不洁净、有油污，使焊接材料表面的润湿性和流散型不好，焊料熔化后，在焊缝表面会形成黑色的浮渣或黑斑，造成气孔，破坏焊缝的气密性，发生泄漏现象，影响电真空器件的真空性能，造成电真空器件的慢性漏气，导致器件最终失效报废。
(4)通过对谐振腔加载降低其品质因子，在谐振腔壁和底部涂覆微波衰减材料是降低品质因子的有效防范。铁硅铝薄膜微波衰减材料是一种高性能微波衰减材料，可通过涂覆和烧结方法将其制备在无氧铜谐振腔壁上，形成衰减涂层。在涂覆前应将无氧铜基底进行毛化处理，并根据涂覆规范在谐振腔内表面涂覆衰减材料，涂覆后的工件在湿氢气氛下进行高温烧结。无氧铜基体需要确保表面没有油污，才可进行毛化处理，而且处理后，还需要再进行一次去油污处理，之后才可在无氧铜基体表面涂覆衰减材料。油污可以使衰减材料与基体结合力变差，若零件表面有油污，导致在基体表面上涂覆衰减材料后，烧结过后衰减材料可能发生脱落，更严重的是可能电真空器件在使用一段时间后，无氧铜上的衰减材料发生脱落，此时会造成更大的损失。三久真空阀
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