对零件表面处理的方法有许多种，但由于电真空器件工艺的特殊性，实际可行的方法很少，大多是从经验得来，理论依据不足，所以，即使比较典型的清洁方法，也需要不断的进行修改和补充。
在各种不同的清洗方法中，一般以化学处理为主。在通常的化学处理不能得到很好的预期效果或者需要高度清洁的表面时，使用电加工，如电解、电抛光、电镀等作为辅助办法。带有非皂化油的金属零件经过950 ℃高温处理后，接触角没有变化，说明高温处理不能够提高零件的表面清洁度。通过对不同清洗方式的清洗效果比较，提出使用超声波清洗技术，超声波仪器内加入去油液体，加温和超声共同作用，不但能去除零件表面油脂，而且能去掉其他杂质，尤其对精密复杂的零件更加有效。
超声波作用于清洗槽中的清洗液体时，由于交变压力的撕拉现象，产生真空泡，其在负压作用下迅速长大后又因强大压力的压剂作用而破灭。零件直接放入盛有金属清洗剂的超声波中，加温使液体的活化能力加强，降低黏度和表面张力与超声空化协同作用，更加容易去除零件表面的油污和杂质。取出零件后使用丙酮液体超声5~10 min，去除残留在零件表面的金属清洗液和油污。
为了保证清洗工作的成功，除了使用正确的方法外，还必须保证盛化学用品的容器要非常干净，特别是持取器件的工具更应加以注意。对于要求严格的零部件，清洗后需要储存在氮气柜或真空盒内，防止氧化和空气中的灰尘、杂质吸附其表面。在完成部件和整管装配、焊接过程中，保持良好的环境条件，减少环境和人员对零部件表面的污染。
总之，零部件表面的油污对制造电真空器件的工艺有不可忽视的影响，提出采用超声波加去油溶液去除制造过程中的油污，超声频率25 kHz，温度40~60 ℃，超声10~30 min，取出零件，依次使用自来水和纯净水冲洗。之后零件放入盛有丙酮的容器中，把容器放入超声波内，超声5~10 min。零部件表面清洁度提高，降低出气和漏气率，保证阴极发射水平和电子枪的耐压水平，提高速调管的可靠性和寿命。
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